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PG15-J激光平面干涉仪 主要技术参数: 1、第一标准平面(A面),不镀膜。 工作直径:D1=Φ146mm,不平度小于0.02μm(λ/30)。 2、第二标准平面(B面),不镀膜。 工作直径:D2=Φ140mm,不平度小于0.03μm(λ/20)。 3、准直系统:孔径F/2.8, 工作直径:D1=Φ146mm,焦距:f=400mm 4、测微目镜:焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X,视场角2w=40o,成像物镜:I、D=4.5;П、D=7;Ш、D=10,f=16,f=23,f=37 5、干涉室尺寸:深260*宽300*190mm。 6、光源规格:激光ZN18(He-Ne)。 7、仪器的外形尺寸:长*宽*高 350*400*720mm。 8、仪器重量:100公斤。 |