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扫瞄电子显微镜SEM的原理跟应用




来源:yiyi
时间:2011-10-3 14:46:33

今天介绍扫瞄电子显微镜SEM的原理跟应用,扫瞄电子显微镜用在很多的场合,包括材料分析跟一些破坏分析都用的到,所谓扫瞄电子显微镜的英文全名为Scanning Electron Microscopy,简称为SEM。
   我们今天上课分为五个部份,因为时间的关係每个部份只能大概包含一些重点,其中主要就是我们电子显微镜中电子束形成的方式是第一个,接下来就是扫瞄电子显微镜的内部构造稍为做一些简介,再下来我们会提到电子显微镜成像,就是它形成的影像是什麽样的形式,它有那些的原理我们会做一个介绍,第四个部份就是会介绍扫瞄电子显微镜裡面最重要一个辅助的功能,也就是成份分析,你在看你试片的影像的同时,也可以知道试片裡面含有什麽样的元素,这成份分析简称为EDS,这个我们会做详细的说明,最后一个部份会简单的介绍电子显微镜它的试片製备,以及需要注意哪些地方。
   这边有几个参考的书籍,这门课裡面主要是由这本书Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis这本书的一些图片跟档桉来製作完成的,这本书由1990年代发行,虽然现在已经没有再发行,不过它的内容非常好。至于中文的部份是由陈力俊院士,正是目前国科会副主任委员,他所着作的一本书叫做材料电子显微镜,是由国科会精密仪器中心发行的。
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