光切法显微镜可用测微目镜测出表面不平度平均高度值Rz。按国家标准，表面光洁度级别与不平度平均高度值Rz的关系，如图所示：
精度等级 不平度平均高度值Rz（微米） 3 40~80 4 20~40 5 10~20 6 6.3~10 7 3.2~6.3 8 1.6`3.2 9 0.8~1.6
精度等级
不平度平均高度值Rz（微米）
3
40~80
4
20~40
5
10~20
6
6.3~10
7
3.2~6.3
8
1.6`3.2
9
0.8~1.6
显微镜在测量时，所测量的表面范围不少于五个波峰。
为使测量能正确而迅速地进行，要求按图所列数据选择物镜。
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