电子显微分析技术-扫描电镜试样制备简单

    电子显微镜主要有两类:一类是透射式电子显微镜;
另一类是扫描式电子显微镜。
它们都利用高速电子同试样作用时所产生的信息
成像，但两者所利用的信息种类有所不同，成像原理也有所区别。
透射式电子显微镜是利用试样对入射电子波的衍射成像。
扫描式电子显微镜主要利用非弹性碰撞过程中所产生的各种信息

按类似于电视的方式成像。
由于扫描电镜具有:试样制备简单;能对试样的特定部位同时作形貌、
成分、结构等多项观察的优点，

因此我们采用扫描电镜观察晶纤表面缺陷并用电子探针能量色散谱
(简称EDS )对缺陷进行微区分析。

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