万能测量工具显微镜-微光学元件的量测非常方便

显微干涉仪（Zygo ）

显微干涉仪集合以上各种观察角度于一身，为非接触式、非破

坏性的测量工具，同时具体呈现各种量化的数据，对于各种微光学

元件的量测非常方便，但是由于其量测方法式靠光的干涉，

所以对空气中的一些扰动皆会引响其量测值，而且元件加工后的表面粗糙

度变得非常重要，若过份粗糙时，光之反射不足，散射增加，无足

够迴授之光与参考光干涉，因而导致显微干涉仪量测上的困难。

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