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接触式和非接触式扫描电子显微镜简介-解析度高低




来源:yiyi
时间:2013-4-27 21:38:06

接触式和非接触式扫描电子显微镜简介-解析度高低

原子力显微镜的操作模式可分为

1. 接触式(contact mode)
此模式的探针和样品的作用力是原子间的排斥力,这是较早被发现出来的,
由于排斥力反应的距离约在数埃(angstrom,Å)之间,且对距离非常敏感,
所以可以得到很高的解析度。不过由于接触距离极接近于样品,过大的作用力会损害样品,由其是软性材质影响更
大,所以选择适当的作用力便很重要。

2. 非接触式(non-contact mode)
为了解决接触式原子力显微镜可能损坏样品的缺点,便有非接触式原子力显微镜发展出来,
这是利用探针和样品间长距离的吸引力-凡得瓦力来运作,其反应距离约在数十埃左右。由于探针和样品没有
接触,因此没有破坏样品的顾虑。但因凡得瓦尔力对距离的变化非常小,
所以必须使用振动及调变的技术(Vibration and Modulation Techniques)
来改善讯号对杂讯的比例(signal / noise),其解析度并无法像接触式原子力显微镜来得高

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