高解析电子显微镜能解析约0.1 nm

高解析穿透式电子显微镜能解析约0.1 nm 原子级的晶体结构和缺陷。为了能够彻底了解这样
微小的结构，先考虑硅的单位晶胞的晶格常数大约为0.543 nm，
大约为高解析穿透式电子显微镜所能提供之分辨率的5 倍

扫描探针显微镜
• 扫描穿隧显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM）。
• 原子尺寸的表面形貌图形 。
• 扫描穿隧显微镜是一个非常尖锐的尖角。
• 传统上是由金属，如钨、镍、铂-铟，或金来制造，较近发展也出了碳纳米管

穿透式电子显微镜
• 穿透式电子显微镜中的电子束是将钨丝的顶部加热后发散，
产生加速电压（通常是从100 到300 kV）
• 电磁线圈用于凝结电子束，然后穿透放于样品区的薄样。
• 晶体中原子排列的差异将导致电子散射

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