显微硬度计厂商-测量微小区域的硬度测试
维氏硬度机（Vickers Hardness）
维克氏硬度是以微小的菱形钻石当压痕器，在待测物上表面压出压痕，并以
显微镜中的基准线来进行压痕器所压出的菱形对角线长度，并利用其长度来计算
受测物之硬度。维克氏硬度试验机的优点在于其荷重小，因此对较脆性的材料也
可进行测试且其压痕器也较小，可进行显微区域的硬度测试
X-光能量散布光谱仪（X-ray Energy Dispersive Spectrometer，EDS）
EDS 是一种广泛普遍分析材料元素成份的仪器，一般架设于SEM 及TEM
中，配合电子显微镜的观察可以择区作成份分析。其原理为利用电子束撞击材料
试样后损失部分的能量，而将试样原子中的核电子(1st 个)20击出，由于核电子被
击出后原子处于高能量的不稳定状态，因此其原子较外层核电子(2nd 个)容易降
下到能量较低的电子空位并释出能量。此能量诺将另一外层电子(3rd 个)击出，
则此被击出的电子(3rd 个)称欧杰电子。因不同元素皆有各种不同能量的轨域，
其各层轨域间的能量差值也有一定，一般称此特性X-光，为各种不同元素所特有
之特征，故可根据特性X-光的能量来判断元素种类
