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近场光学显微镜在纳米测量的应用简介




来源:yiyi
时间:2013-9-24 17:41:21

近场光学显微镜在纳米测量的应用简介


近场光学显微镜对于现今奈米尺度量测 上有高空间解析的能力
,是分析次波长微结构 不可或缺的工具。

因其空间分辨率受限于光纤 探针的尺寸,为近场光学显微镜中
关键部份, 探针自制能力,并且利用自制的探针与外差式近场
光学干涉仪结合已具有不错的成效。

再者,对于近场正交式的架构已有初步的模拟结果。对于辐射状
偏极态入射光在近场光学用探针模拟也观察到了超小聚焦的现象,
有助于提升近场光学显微镜之分辨率

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