测量平均表面粗糙度-轮廓测量光学显微镜应用

  表面粗糙度的测量及统计特性的确定在科学与工程上和许多领
域中是重要的，虽然的许多方法可以达到此目的， 但广泛使用
并普遍采用的测量表面粗糙度的唯一的标准技术也许是机械轮廓
仪。利用这种仪器，表面可用一细窄的金刚石探针轻轻地直接扫
描，产生一个与轮廓表面高度比例的时间变化的电压输出。如果
探针针尖的宽度比表面不规则性的横向尺度小，探针型轮廓仪肯
定提供表面轮廓的真实信息。

  虽然，探针型轮廓仪可提供有用的数据，可以广泛地被用来测
量表面粗糙度，

但它有两个主要缺点：

（1）由于表面直接与金刚石探针接触，因此会损坏被检工件的表面；

（2）它通常是测量平均表面高度偏差，而不能测量表面粗糙度的相关
长度或平均梯度，

当然，相关长度与平均梯度可以通过取输出电信号的自相关来得到
，但这样一种处理限于实验室研究。由于它总是要求与表面直接
接触，因此对于工业应用来说，一般仅从大量加工过的零件中取
出几个样品，用轮廓仪测量。而且轮廓仪只给出二维信息，因而
并末实际地。

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