新技术的近场光学显微镜分辨率达到20nm左右

    传统的光学显微镜利用扩展光把物体各点的形貌同时显示出来；近
场光学显微镜与其他扫描探针显微镜一样，应用网格状逐点扫描技术获
得物体的形貌像。在扫描时，探针与样品表面的距离恒定保持在几十纳
米以内的近场尺度，这种技术在原子力显微镜和扫描隧道显微镜中已经
很成熟了。较后通过小孔探测器得到高分辨物体的形貌像。计算机把从
各点收集到的信号处理，勾画出样品的图像。

    这种用小球、小孔作为探针获取近场信息的工作模式称为“收集模”
而用直径小于波长的局域光源近场照明被观察的物体，用传统的显微方
法在远场处收集信息的方法称为“照明模”。

    近场光学显微镜分辨率达到20nm左右，大都用光纤探针，由多模或
单模光纤制成。光纤经加热拉伸断裂，形成有平坦面的针尖，蒸镀金属
薄膜，蒸镀金属时在端面留有小孔。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)