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显微机械加工样品检测显微镜-微加工制造




来源:yiyi
时间:2014-6-14 19:21:01

显微机械加工样品检测显微镜-微加工制造


显微制造与微型电铸

    显微制造或者说显微机械加工(micromachining)是从半导体器
件生产到集成电路制造一直在采用的高新技术。在微电子技术时代,

    显微制造已经是不可或缺的现代加工技术。但是,我们以往所知
道的显微制造,较多的还是显微光刻和显微蚀刻,而很少听说微型电
铸。但是,在微型机器入等微型器件的研制进入实用化以后,微加工
技术中的微型电铸很快成为一个重要的加工方法。这种方法实际还是
在微蚀方法的基础上发展起来的微加工方法

    使电铸成型体裸露出来,从基板上取下,即为电铸成品。

    这种微加工技术当初是为了研制光导纤维连接器和光导开关而进
行的工艺技术开发。现在已经发展成为微加工制造中的重要加工方法。

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