研究用的金相显微镜所采用的分辨率大约是0.2μm

显微镜需要按照以下五个基本判据进行比较:

        1分辨率
        3工作距离
        3景深
        4对样品的限制
        5放大倍数

    列出放大倍数是因为通常它说明利用扫描电子显微镜的原因。
品制备要求或不能满足要求所造成的后果也很重要。

    分辨率研究用的金相显微镜所采用的分辨率大约是0. 2μm，
而良好的透射电子显微镜则应能分辨0.002μm.工作在例行实验室
环境下的典型扫描电子显微镜能在典型样品上分辨大约0.02μm.

    景深

此参数定义为轮廓聚焦清晰的那部分样品表面。通常，景深定义为处在
±10%精确聚焦面以内.光学显微镜的景深将选择1个单位作为标准，

以此为基准，扫描电子显微镜具有200-300个单个的可用景深，透射电子
显微镜没有景深，因为电子束要通过样品。