显微镜横向分辨率与高度分辨率组合-用于测量表面粗糙度
显微干涉仪
在测量设备范畴，还需要介绍一种高度复杂的装置：
集成在显微镜中的显微干涉仪〔大部分属于米洛（Mireau）类型〕。这些装置中。
显微镜的横向分辨率与干涉仪的高度分辨率相组合。显微干涉仪特别
适合渊量如集成光学零件中的微小细节及小型光学零件的表面形状。
还可以测址表面的粗糙度。
较新研制的一代产品装备有复杂的扫描台。利用白光照明和：方
向的机械扫描，
可以处理很大的高度差。在评估软件中。数据采集到一个共用高
度表中，
除了测量表面粗糙度外，还可以测量小的非球而透镜。由于该干
涉仪采用拼缝技术，
所以，有可能（同时）测量10个较强非球面表面，其原因在于通
过改变每个拼缝部分的聚焦，得到干涉图不同区域的较佳抽样，
所以，干涉图抽样可以在垂直方向采用更多像素。作为例子，Zygo
New View7000系列的横向视场是0.05-21. 9mm. 横向分辨率是0. 36~9.
5 μm （取决于所用的物镜、变焦透镜和相机）高度分辨率可以小至
0.lnm.垂直扫描适合不同的扫描范围。
利用接触式仪器也可以测量表面形状和纹理，这是多年来标准的
粗糙度测量方式。
