微光学的范围有哪些-微型光电子机械测量显微镜

    作为一门新兴技术，微光学涉及的范围并不亚于光子学，它是
光通讯与微电子学结合的产物，它的应用领域也不仅包括人眼可

接受的光谱范围，同时也包括紫外和红外光等范围。

    微光学涉及的基本材料多为二氧化硅、玻璃、半导体、硅和铿
化妮以及一些新型有机材料。它所涉及的器件包括在二氧化硅、玻
璃、锉化妮或硅上通过集成光路形成的微光波导，光电二极管
DEL和激光二极管DL等微光源，光纤和微透镜等微元件。

    在微机械研究中，微光学现在已成为与微电子、微机械密不可
分的重要部分，尤其在汽车、飞机和机器人等工业领域具有潜在的
应用前景。目前微型光电子机械系统MOEMS已经成为微机械的
重要发展方向之一。

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