调焦物镜进行聚焦一般都是较低显微镜倍物镜

    聚焦用调焦物镜进行聚焦总是应以较低倍物镜为起点，这样就可
以给出较大的工作距离并使物镜轧住试样的可能性减至较小。如果被观
察的表面是在凹坑中（比如拆去了封装的集成电路块），当转动统调焦
物镜进行聚焦时必须谨慎从事，因为用高倍物镜是不可能看清凹坑壁的。

假如能看到光源灯丝的模糊影子时，

    这表明物镜距物体太近了，应当缓慢地退回。对于非统调焦的物镜，
可把物镜降低到刚好在试样表面上（这时把眼睛置于物体水平面上进行
观察，注意看着间隙）。再把物镜从物体移开进行聚焦。

    对于配备科勒式照明器的仪器，场光阑叶片）将与物体同时聚焦。

    因此，可把光阑缩小并对准某一叶片边缘进行聚焦。当物体是高反
光性的而使聚焦难于进行时，此种方法特别有用。

    如果所有别的办法都不能奏效，那么就可能不得不在试样表面上添
加尘埃来帮助聚焦工作的进行。在转动调焦控制器的同时，使试样稍微
纵横移动有时也能帮助聚焦。当需要大的工作距离时，必须采用低倍物
镜或长焦距物镜。采用较高倍的目镜虽能维持总的放大倍数不变，但可
能会损失分辨率

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