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生产高质量的电子显微镜,须作非常精确的设计




来源:yiyi
时间:2015-11-1 22:23:14

生产高质量的电子显微镜,须作非常精确的设计

显微镜较重要的特性是其分辨能力。分辨能力的定义是,显
微镜能提供清晰客的两点间的较小距离,这些象虽有部分重叠,
但在充分大的放大率下仍能辨明而确定无疑。对于光学显微镜,
显微镜放大率可表示为物镜放大率与目镜放大率的乘积。但是,
放大能力应与物镜的分辨能力相适应。不论目镜放大率多大,只要
两个相邻点已预先用物镜在中间象中分辨出来,它就能加以分辨。
同光学显微镜一样,聚光透镜使电子束集中射到试样上。由于
其结构上的原因,试样(应该很薄)使电子柬得到调制。此外,
物镜产生放大约100---300倍的初象。较后,一部分中间象被投影
透镜放大在荧光屏或照相片上。在各个透镜前面,都有限制射束
立体角的光阑.电子从灯丝到荧光屏的整个轨迹和试样都在真空中,
以消除电子衰减和散射。试样照明随光阑和通

过聚光透镜的电流而改变,而放大率则随通过物镜和投影透镜的

电流而改变.
    为了生产高质量的电子显微镜,必须作非常精确的设计。例
如,进行显微镜竖筒的机械设计时所需的精度是,在大于lm的
长度内,各种子组件的同心度应能达到几十微米。另一个重要的
要求是电参数的稳定性,因为终象是用照相的方法得到的。虽然
显微镜的瞬时工作性能可能很高,但曝光时象的位置或大小的任
何变化都会降低质量。
     透射电子显微镜的一个特性是电子束的穿透本领低,因而用
它来研究表面时已产生了问题.为了克服这种缺点,要用表面复
制模。引用这种中间工序,具有下面几个缺点

(a)由于其厚度小会引起脆化,复制模必须支承在栅极止。

这意味着这种复制模部分地被不透明的栅条所屏蔽;

(b)制造复制模时用到的多道工序会改变其分辨能力;

 (c)不管制造复制模时多么仔细,这层膜再现表面细节的

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