带CCD工业摄像立体显微镜-微小元件装配仪

    微器件的尺寸效应给微装配与微操作带来了很大的困难，为
了克服这些困难，微装配与微操作一般采用显微视觉对操作机械
手进行闭环控制，机械手的末端执行器上装有微力传感器构成力
的反馈。

    在待装配器件没有接触时，利用视觉进行引导，而当器件接
触时，采用力反馈控制精密装配。由于微器件所受力的性质还不
清楚，采用自动化装配还很困难，

    所以现有的微装配与微操作系统都采用交互装配与操作方法。

    这些微装配系统的固有缺陷，限制了微装配系统在实际生产
中的应用，增加了微产品的成本。

    要使微产品的成本降低，减小微系统的装配成本是一个重要
的方面，传统制造业的经验表明，采用自动化、流水线微装配应
该是一个可行的方法。

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