形貌分辨力为仪器水平和垂直分辨率乘积-粗糙度常识

形貌图的分辨能力

  用于测量表面形貌仪器的实用性同，取决于它能同时测量水平方
向和垂直方向两点之间的间隔的能力，形貌图的分辨能力是由所用
仪器的水平和垂直分辨率的乘积决定的。

  在典型的工作条件下，上述仪器的水平、垂直和形貌图手大致分
辨能力，包括透射电镜的参数可供参考。

  表面粗糙度测量的现有方法，从测量系统的观点讨论这些方法，
组成这个系统的各个部分；试样表面、测量仪器、分析设备和数显
装置等都 是同等重要的，通过峰到谷的测量范围、测量区域大小
、垂直分辨率、水平分辨率和轮廓测量的可能性等项目来评价和比
较触针式、光学和电子光学的各种仪器。

多光束干涉显微镜——在各种各样的光学显微镜中，干涉显
微镜是较经常用来获得表面形貌定量信息的一种仪器。

表面粗糙度仪形貌分辨力常识

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)