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合适用于测量表面粗糙度的显微镜有哪些特点




来源:yiyi
时间:2015-4-2 17:23:13

合适用于测量表面粗糙度的显微镜有哪些特点

    定性的仪器光学显微镜和扫描电镜是极其灵敏的实用的检验
表面的仪器,虽然两者都不特别适应于粗糙度的定量测量。
              
    干涉显微镜——差分干涉显微镜提供了高分辨率观测表面粗
糙度微小细节的一种杰出的方法,在实践中,把表面的两个影像
错开一个比显微镜分辨率还小的距离,使干涉相消(破坏了干涉
对比度),它只是在照明象附近区域的高度方向有一个差别。
              
    然而系统十分灵敏,在正确调整后,由于对比度好,可看到
表面丰富的显微细节。仪器的基本元件的偏振光分成两束相干光,
在试样上错开约1um ,大约与显微镜物镜的分辨率相等。从试样
上反射后,光束在沃拉斯顿棱镜复合,然后再穿过第二个起偏器,
这个起偏器和前一个起偏器正交。
              
    如果两束光的光程差为零,于是出现一个黑的视野,在试样
的斜坡面上的光线稍有位移就会在返回路程的光学系统中走过一
个不相等的路程,因此视场为一片黑的背景,而在有倾斜特征的
地方,在暗背景上出现亮光,在使用白光情况下,人的眼睛能高
度灵敏度分辨颜色的变化可看见图象的差异,差分干涉对比技术
主要受不能定量评定的局限性,
              
    然而对于有经验的观察者,这种仪器将成为观察图像的详细
信息以及彩色图谱的极其灵敏的有效工具。
              

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