机械零件加工表面粗糙度测量仪-多功能显微镜
在表面粗糙度和零件加工这两个相互影响的技术领域中，较
重要的问题是什么？我们可能会向并欣然回答这一较显而易见的
问题；零件生产成本是受表面粗糙度要求的影响吗？回答显然是
肯定的，而且长期以来已为人们所熟知。
（1 ）一台测量仪器或转换器可以把表面形貌变换为某种形
式的、供数据处理用的图象当转换器的灵敏元件扫过校验样板表
面的栅纹路时，所获得的现今较通常的图象形式是一个电压信号，
然而，图象形式同样也可能是一个干涉图形、一个扫描电镜的显
微图像或者是光截面的图形。
（2 ）分析装置用于处理表面人图象，以便能表示形貌的特
征或用简便的方法展示形貌。
（3 ）数据显示可包括从简单瓣模拟指示计延伸到复杂计算
机绘图终端——能显示表面形貌的等距三维景象或其特性曲线。
在试图回答关于使用什么仪器、采用哪种表征参数和要求做
哪些分析问题时，必须仔细考虑表面形貌测量系统的所的各部分，
尤其是他们各自的相互作用影响。例如，干涉仪具有非常优良的
测量特征：它不接触试样，有大约10nm（即0.5uin）的垂直分辨
率。而且从原理上来说是精确的，但是从数据分析的观点考虑，
要从干涉图形获得这种表征参数是比较困难和不适宜的。
