表面微观结构及样品几何形状计量图像显微镜　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　
    因为表面微观结构对于表面功能特性的关系必需既考虑表面
形貌的高度，又要考虑形状，所以，新的电容式仪器可以在表面
计量学上有助于填补空白。在表面性能中，振颤起着非常重要的
作用，但是在使用触针式仪器时它被大大地忽略了，因为振颤周
期大于标准的截止值0.03in（0.76微米）。另一个原因是振颤主要
是平行于纹向的，面积式电容探测器对振颤的表面上得到的微观
结构测量值明显地大于触针法粗糙度值，这样，新仪器有希望对
传统表面提供改善微观结构性能的条件。
　　　　　　　　　　　　　　
    实际上，表面性能取决于它磨损中的几何形状。通常，为了
得到较好的性能，在使用前将其峰顶从工件上去掉一部分，利用
经过准备性工序后的表面结构作为被测对象，或用能在“加工后”
    的表面上测量出“磨损”和表面结构值的仪器微观结构和性
能之间关系是合理的，电容原理仪器就是基于这个推断而设计的。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)