应用于耐磨表面粗糙度测量的显微镜的组成特点　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　
    由此看来，粗糙表面的微不平度的特点和粗糙度参数的物理
含义的特点不允许实现把测量单位从这一领域的一次基准器直接
传递到标准器进而传递到工作测量工具而无显著的精度损失。
　　　　　　　　　　　　　　
    干涉显微基准器装置，它由干涉显微镜、物镜瞄准装置和附
加的线位移测量工具组成；粗糙度基准样板。
　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　
    现阶段用小型真空镀膜设备研制校验样板的工作已经全部完
成，预言用这个方法在均匀性和精度方面能达到的极限是不现实
的，尽管如此，本报告所论述的结果表明，现有这种形状的校验
样板对电积分指示计的传输特性给出了有效的指示，并且这种制
造镀层的方法其幅度的节距至少可分别达到30-1000uin和0.01-0.3in.
可是，较近两年期间得到的结果说明（这期间作为经济合作和发
展组织计划的一部分，其中有两块样板已在各个国家实验室中流
通使用。），
　　　　　　　　　　　　　　
    尤其是若用带滑块支承的传感器时，需要较硬的耐磨表面，
但这个不会成为一个不可克服的问题。

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