数字式测量显微镜带测微工作台多种测量方式
通常，用显微镜或者带测微工作台的十字标线进行测
量，现在已普遍使用数字式测量显微镜，也可在带有标尺
投影屏上或照片上测量。
选择适当的放大倍数使视场宽度为涂层厚度的1 分之
1/2 到3 倍，很薄的涂层应采用较高放大倍数，要在沿试
样长度方向的若干个位置上测量涂层厚度并计算其平均值，
若厚度不均匀，应作更多的测量，可以用测量值的标准偏
差来描述涂层的均匀性。
一种评定涂层厚度的统计方法，粗涂层的厚度是由测
量涂层与基体间的界面到表面峰和谷之间中点的距离来确
定的，如要求测定较大和较小的涂层厚度，则必须扫视试
样来找出这些部位，为获得较佳精度。
对用光学方法测量涂层厚度的精度进行和详尽研究表
明：厚度为8-480 μm 的平整涂层的实验室测量值偏差为
7%或者1.0 μm ；粗涂层的测量值偏差较大，其不确定性
为35% 或40μm ，大多数误差来自校准错误，测量判断或
测量装置问题，而试样制备不起重要作用。
误差来源的详细分析，对每一种目镜和物镜的组合都
必须精确地确定放大倍数，测微器测量装置或目镜标尺必
须用测微工作台在各个放大倍数下进行校验，指出：若有
15个操作者，在一个测微工作台上用游丝测量显微镜测一
个固定间隔时在约495X和900X下测量值的散布为0.8%，单
个操作者的测量值散布则小得多。
