光学显微镜粒径尘粒沉降分布测量光学仪器
粒径分布，它把用，光学显微镜、电子显微镜、沉降
法测量的结果表示在一个图上。值得注意的是，同样的采
样，根据所用的粒子参数，会出现不同的频率分布。在微
电子学的领域内，粒径分布通常用光散射型粒子计数器测
出的各种粒径的粒子数目为基准，如果空中悬浮粒子引起
化学污染，则粒子的重量和质量也是比较重要的
影响大气尘粒状物质发生和控制的较主要物理性质是
粒径。
显而易见，粒子大小直接关系到过滤器的效率。
直径大于20～25微米的粒子很快下沉，因此，它在空
中悬浮粒子的采样中只占很少数量；粒径小于0.1 工微米
的尘粒很快凝结，它们的浓度随它在大气中时间的增长而
减少
用光学显微镜、电子显微镜和沉降法测得的数据
显微镜测量结果，十字形记号为光学显微镜测量结果，
圆圈记号为沉降法测量结果
这个标准试验反映了细小粒子的过滤效果，它用外界
环境中自然产生的空中灰尘作试验，在过滤后，从所试验
的过滤器上流面和 流面取滤纸为采样，观察比较采样
上的斑点密度，就得到灰尘沾污滤纸能力的额定值。因为
小粒子比较容易沾污滤纸，所以这个方法比较能说明小粒
子的消除效率，而对大粒子渗透能力的敏感性较小。
