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测量显微镜的分辨率-测量形状、尺寸和表面质量




来源:yiyi
时间:2015-6-27 14:17:32

测量显微镜仪器的分辨率-测量形状、尺寸和表面质量
   
实际接触面积的测定方法和测量仪器

在实际的研究工作和工艺过程中,常用三种方法测定实际接

触面积,即信息法、光测法和电测法。
    采用第品种方法时,要用染料、放射性物质以及金属
箔和细丝作为实际接触的信息物。在接触过程中,由于受
力的作用,信息物的形状、尺寸和表面质量发生变化或者在所研
究的表面上留下痕迹,据以判断实际接触区的形状和尺寸。

    这种方法的分辨率和可靠性主要取决于信息物的层厚。它的
厚度应为表面不平度高度的几分之一。否则,不平度将被信息物
所填满,而只有表面上高度超过信息层厚处的接触区才显示出
来。所用的信息物层厚为0.01---50微米。

    在第一种方法中,用放射性同位素量有发展前途,如使用得
当,它在寻找实际接触点时能保证有很高的分辨率和可靠性。

    光测法的基础是:

    当所研究的表面与透明材料的试样接触时,接触点上全内反
射遭到破坏的现象;
    当光线从一种介质转到另一种拆射系数不同的介质时光的反

射和散射现象;

将光谱上纯的电弧碳
素电极放在真空室中进行蒸发,可获得碳膜。用这种方法涂致的
膜具有很薄的非晶结构,能精确地复现十分鲜明的表面形貌。

    用这种方法很易用肉眼看出厚几十埃的膜。这种方法无需复
杂的设备、具有很高的分辨率,并能测定表面上粗糙度达9 -10
级的接触面积。

    显影法制定的先决条件是,通过各种研究所发现的与金属
物理状态有关的金属电势发生某种变化。这种变化在冷作硬化时
非常明显。经冷加工的金属通常要比退火状态稍差。经过不均匀

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