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较粗糙的表面任意两点光学距离测量显微镜




来源:yiyi
时间:2015-6-28 18:43:04

较粗糙的表面任意两点光学距离测量显微镜

全息照像干涉测量和普通干涉测量是有区别的。它能利用同
一个光路记录不同时刻的波前,这就能用由真实物体所得到的干
涉图与标准物体干涉图进行比较。此时,一般说来,对光学器件
的质量要求并不十分重要。因为即使光学零件不完善,两个干涉
波的变化程度仍是一样的。

    较粗糙的表面,用全息照像干涉测量技术比较方便,只是在
全息图方向上要散射足够的光量。它不需要比较标准样件,就可
以进行任意的相对测量。例如,可以测量当表面变形或受压缩时


表面移动的情况。这时,原始的表面状况,可以用作较终表面状
况的标准样件
全息照像干涉测量技术可以在不同时间以真实比例进行两次
曝光。这样就可以同时见到物体变形的干涉图象的变化。实际上
的问题在于,在显影之后~定要把全息图放还到记录时的原始位
置上。

    再现时,可同时照射全息图和物体。如果以原来的参考光波
照射全息图,使之精确地还原到原始状态,则所成的虚像不仅象
这个物体的精制复制品,而且能与空间的物体相重合,也有着与
物体相同性能的光散射袭面形状。为此,观察时必须使物体光束
和参考光束形成的干涉组织与记录在全息图上的组织重合,其精
确度要达到条纹间距离的十分之一以内。如果物体光束和参考光
束之间的角度小,这也是容易做到的。
    如果物体受到变形,那么,由观察点到表面上任意点的光学
距离也起变化,这个距离是相当予标准样品表面(虚像表面)各
点的相对距离,由表面各点到照射两个表面的光源的距离也发生
变化。由同一部位上、但是从表面位移部位上散射的相干光束,
在由光源到观察平面的光路上,相应地得到了相对的相位移动。
由于相位的移动,以及由它引起的形成光波振幅的变化,产生了
干涉图象。这种图象可以表示物体表面变形的性质。

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