多功能大型测量显微镜的测量精度的误差常识
蠕动误差主要反映在桥式结构，产生误差的原因是：纵梁
方向和导轨移动时，左右测量架不能同步移动，使往返行程的
轨迹不重合，产生回程差。
该误差对于测量精度的影响甚大，误差值的大小与座标测
量机的结构形式，制造和装配的精度等因素有关，如有个单位
地试制座标测量机时，原设计采用一般钢导轨和精密轴承结构
作为X 、Y 、Z 座标的导轨副，由于各轴承轴线不能严格平行，
引起往返移动时轨迹不一致，产生相互干扰，回程误差较大，
后经改进，要纵梁移动导轨的垂直方向轴承上增加了可相对浮
动装置，使蠕动误差得以减小，设由于蠕动而产生的误差为：
X 、Y 、Z ，它们一般应控制在2-4 微米以下，在悬臂式结构
中，蠕动误差通常可忽略。
测头误差测头系统是座标测量机的重要部件，它便于进行
空间位置的测量，其精度直接影响着测量总精度及其可靠性，
测头误差一般由四项内容组成。
测头结构引起的误差测头结构引起的系统误差，主要是由
于导轨的几何误差在测头上的反映，即测头的位移误差。
测头结构产生的重复性误差，主要是轴承的偏心误差引起
的离散，对于过零发讯的测头还须考虑测头停止产生的附加加
速度，它会使各滑架、导向面和轴所具有的惯性力、摩擦力等
的平衡发生变化，造成机械各部分的变形，使测量值离散，这
种误差属于随机误差。
温度的影响湿度对测量虽无直接影响，但当湿度超过60%
时，座标测量机的工作部分易产生锈，光学镜头易发霉，因此
湿度间接地影响着测量，若湿度过低，会使测量者有不适之感，
此外，湿度和温度的控制有着密切的关系。
