测量具几何形状零件,机械化和自动化检验显微镜
专用测量器具是用于测量具有一定几何形状零件的特殊元
素，或用予测量与零件几何形状无关的特殊参数的测量器具。
属于测量具有一定几何形状零件的专用测量器具有量规、测
角仪器、螺纹量仪，齿轮量仪、机械化和自动化检验仪器。
属于测量零件特殊参数值的专用测量器具有表面粗糙度量仪
及形状和表面位置偏差量仪。
坐标测量机的测量原理实质上都是一样的。测量时，零件安
装在仪器的工作台上，即可测量零件的全部参数，不偏重新安
装，当然，零件在工作台上安装表面的位置偏差除外。总的说来，
坐标测量机可以测量平行六面体零件的五个面，而不必重新安
装零件。测量时，传感器沿三个坐标轴方向移动，而零件不动
或者零件沿x和y轴移动，而传感器仅沿z轴移动；或者零件
仅沿x轴移动，而传感器沿y和z轴移动。
在作这类测量时，传感器或者装着零件的工作台在移动过程
中，测量系统就确定传感器和零件的相对位移量，向记录装置或
计算装置中输入信号，表征传感器测量头与被测零件表面接触
瞬间以前的三个坐标方向的位移量。在某些测量机中，传感器
给出的信号不仅表示读数测量系统的位移量，而且还表示直接由
传感器来的补充数据，提供测量头同时在三个坐标方向偏移的信
息，以减小由测量系统惯性所引起的误差。
坐标测量机的规格被测零件的较大尺寸，有的到400-500
mm，有的到8一lOm，还有一些通用测量机可测尺寸到16m的
零件。用得较广泛的是可测较大尺寸为500～1000mm的零件的
测量机，因为这类零件形状复杂，在机器制造中应用较多。
测量机坐标导轨在很大程度上影响测量的精度。大多数坐标
测量机用空气静压导轨或滚珠滚柱导轨。如用空气静压导轨，其
底座常用岩石制成。岩石与金属相比，在承受力和热变形方面都
有很大的优点。
