多光束显微镜的原理表面镀层粗糙度计量显微镜

    光学技术多光束干涉显微镜——在各种各样的光学显微镜
中，干涉显微镜是较经常用来获得表面形貌定量信息的一种仪
器，给干涉显微镜作了评论，研制的多光束干涉显微旬，由于
它非常灵敏，精巧和成本低，在近十年内已得到广泛普及，干
涉显微镜较简单的表演是大家所熟悉的牛顿环的实验一在个凸
透镜上放一块平板玻璃片，通过低倍率显微镜观察，从透镜表
面和正好在平面的同一点上反射回来的相干光束，形成一系列
黑白相间的干涉环，从平面和透镜的接触点开始，按半波长的
倍数计算，每当表面离开这一距离时就出现一个环。

    在多光束干涉显微镜中，平玻璃片的下表面举涂的银层或
镀一系列特殊的介质膜，后者可能把反射率上升到97% ，在牛
顿环实验中如果用所研究的金属替换凸透镜，于是光线在穿过
银膜层返回以前，在表面和银膜层之间来回多次反射，这种多
次反射光使干涉条纹变得显著地尖锐，对于高反射北的表面和
97% 反射系数的镀银薄膜，条纹宽度可达到条纹间距的1%那么
小。

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