使用比较法检验粗糙度常用的有光切显微镜等
用样板进行比较检验时，粗糙度样板的材质、加工方法
要与被检表面的材质和加工方法一致。因为材质和加工方法
不一样，加工痕迹不一样，对光的反射能力。音响以及粗糙
的感觉不一样。例如，车削加工的样板，不能作为铣削和其
他加工方法的比较样板用，只能与同种材质的车削零件进行
比较。
触觉法比视觉法和听觉法方便，且检验误差小。所以在
生产中常用这种方法。
比较法检验粗糙度，不能得出粗糙度的具体数值，为了
得到粗糙度的具体数值，应该用仪器进行测量。
就是利用光的反射、散射、干涉原理测量表面微观不平
度，所用的仪器很多，常用的有光切显微镜和干涉显微镜。
近年来出现了激光测量粗糙度仪器。
光切显微镜
光切显微镜结构原理光切显微镜是利用光切原理设
计而成的。一束平行光通过具有平直边缘的狭缝以一定角度
照射刭被测表面上，经反射，在目镜里看到狭缝的象。如果
表面没有微观几何形状误差，狭缝象是一条边缘平直的光
带；如果表面存在微观几何形状误差，则在目镜视场内看蓟
一条曲折的光带。表面越凸凹不平，则光带的曲折程度越
大。光带的曲折程度与表面的粗糙度情况有关，所以可通过
测量光带的曲折程度来确定表面的粗糙度。
