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光切显微镜的检验在使用中应定期检定提高准确度




来源:yiyi
时间:2015-7-21 19:17:41

光切显微镜的检验在使用中应定期检定提高准确度

光切显微镜的检验在使用中的光切显微镜应定期检
定,检定时按有关标准要求进行。使用操作人员为检查所甩
仪器是否良好,可检验下述几项:
    1)传动升降机构及粗精调机构应转动平稳,不应有卡住
或跳动现象,锁紧机构要可靠。
    2)工作台测微千分尺的不准确度,要求在任意1毫米行
程上不超过0.01毫米。
    3)狭缝象和披测轮廓的象应能同时调清晰,其清晰范目
不小于目镜视场直径的三分之二。当在镜架两侧
用手施加压力时,象的位移不应超过0.05毫米,当撤去外方
后象不能回原位不应超过0.03毫米。
    4)狭缝象的轮廓边缘应光滑平直,两边缘的不平行度在.
目镜视场内不应超过0.03毫米。
    5)物镜座定位应可靠,当更换不同倍数的物镜时,象的
较大偏移量:在平行于狭缝象方向上不应超过0.3毫米,在
垂直于狭缝象方向上不应超过0.5毫米。
    6)示值误差。光切显微镜的示值误差是个综合误差,它
与光学系统误差、机械精度以及被测面的微观不平度的结构
有关。


    照明物镜和观察物镜是成对使用的。
玻璃标准尺的刻线是在同一平面上,在目镜内观察到的
象是刻线经放大了的实际象。而被测表面上的微观不平度的
微小峰谷是立体的,目镜内观察到的象是微观不平度在光切
面内的轮廓,不是被测面的实际轮廓。如前所述,光切面内
的轮廓与其实际轮廓相差光切原理系数。
光切显微镜的测量误差光切显微镜的测量误差,包
括仪器本身的系统误差和测量过程的偶然误差。

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