表面粗糙度测量中散斑的测量光学显微镜原理

利用散斑的测量大体可分为

1)相关法，2)干涉法．

干涉法中

有双光束法、双孔径法和四孔径法等．作为应用测量已报导的有
表面粗糙度测量、疲劳试验、横向位移测量、纵向位移测量、倾
斜角测量、振动测量等．对于散斑测量的记录和全息测量的情形
相同，需使用与所用激光波长相符合的感光材料，分辨率不要求
那么高．使用的光学系统要充分地考虑到感光材料的分辨率进行
布置，这一点是很重要的．下面就使用相关法的疲劳试验和使用
双孔径干涉法测量沿表面位移的例子加以说明．

疲劳试验
    散斑图样是将激光照照到有粗糙表面的物体上，由被照明表
面的各点产生的反射光相互干涉而生成颗粒状结构的明暗图样．
其中包含着有关表面微观形状的信息．疲劳本来是难以定量控制
的局部破坏现象，可是由于疲劳，会产生滑痕线、裂纹和微观组织

的变化．将产生疲劳前的图样作为滤波器，通过测量阴影滤波器
的平均透过光强的变化能够试验出疲劳的发生．
这种方法在比用显微镜观察发现异状裂痕还要早的时刻就能从透过光强
中发现这种变化．

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)