表面的粗糙度的测量可使用光切显微镜-读数显微镜
检验仪用于检核管水准器的灵敏度
将玻璃管安置在两个棱镜上，棱镜固定在杠杆上，杠杆与反射
镜连结。反射镜的反射面垂直于自准直仪的照准轴。借助于尖头螺
旋测量杠杆的倾斜度。
首先将玻璃管汽泡的一端和玻璃管上的起始分划线重合，并在
扫准仪视场内观测预先约定的零位。之后，移动自准直构件，．使其
位移量相当于水准器格值的数值。当汽泡稳定之后，依玻璃管分划
尺检核汽泡位移的一致性。
检核也可按相反的次序进行，即当精确地移动汽泡玻璃管分划
尺的一个分划后，读取距自准直仪零分划的结果。
当要求特别高的精度时，其中包括对于长度的测量，形状的规
格性的检核和表面的粗糙度的检核及对于反射镜小倾斜度的测量，
凡此种种测量工作中，均应用着干涉型的仪器(干涉仪)。在干涉
仪中，可采用两条或多条相干光束的干涉。有两种应用干涉方法的
可能，第一是根据干涉条带的位移，测量直线的位移。很容易以
0．1的条带宽度的精度来测量这个位移，也就是说测量平面位移的
误差达0．03微米。干涉的第二种应用是借助于标准表面来检核其它
表面的平面度。
在测量实际中，基于测量条带位移原理的干涉仪，得到较广泛
的推广。比如，根据条带位移测定用来测定水准器灵敏度的检验仪
的反射镜倾角。该方法的实质就是以光波长度根据测量直角三角形
小直角边来测定小的倾角。
假设认为测量两条直角边的误差对测角精度的影响是等价的，
那么由于在干涉方法中被测量的角度值不超过2"，则测量长直角边
的误差就可以测量小直角边的误差大1700倍。
近年来，在安装和调校工艺设备时，垂高计得到广泛应用，当
由于某种原因不可能用其它测量方法时，比如测量的物体位在真空
室内、高温室内、具有很强轴射等等情况下，为了测量直线
尺寸都可应用垂高计。
垂高计的工作原理是利用望远镜依次照准被测量构件的起、末
两端，将被测构件的尺寸和垂高计的作业尺进行比较。任何垂高计
的原理图都是由下列基本构件组成：沿导轨移动的照准设备(通常
这种设备是望远镜)，望远镜整平设备(借助于水准器或液体水平
及自准直仪)、作业尺(分划尺)和读数设备(显微镜、锥形体和
放大镜）
