金属加工技术,集成电路工业检测用工业显微镜制造厂

    硅加工技术的日新月异是使老产品淘汰的一个重要因素。
在一种硅加工设备生存期间，必须预见并迎接技术上的新的改
进。
    为了适当地解决这一问题，必须将硅技术分解成不同的部
分，然后再汇总起来作为一个整体来考虑，看看技术的哪些方面
对某一应用场合有不足之处。

    巨额的硅生意连同业已获得的先进工艺和设备表明，硅将
继续成为大部分集成电路器件的“顶梁柱”。
    生产复杂器件的亚微米技术的进展是令人注目的一个领
域，用可见光或接近于可见光的曝光设备是无法制造出这类器
件的图形尺寸的。亚微米技术是以使用电子束和X射线为基
础的。

亚微米技术对集成电路工业的影响比MOS对半导体工业
的影响更大。正如MOS使几家新公司进入市场一样，亚微米
技术将使半导体工业界内各供应厂家的地位重新作重大的调
整。对新颖半导体生产设备的需求也将驱使新的或现有的生产
设备供应厂家大大改进它们的生产线。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)