SEM电镜属于大型精密仪器-倍率和图像的分辨率较高
SEM属大型精密仪器，要发挥它的高精密度作用，就须做好调试工作。而SEM的主
要性能指标状态是动态的，随着使用时间和条件的变化，性能会有不同程度的降低，因此要
经常调整才能保证较佳的工作状态。调试主要包括照明系统的对中，灯丝饱和电流的调节，
光学系统的对中和物镜、消像散的调节。高分辨率的仪器，未必能获得高分辨率的图像；只
有精细制作的样品，才能保证图像的高质量。
用SEM观察时要目的明确，并根据样品的性质和结构特征，选择合适的加速电压、
放大倍数、照明强度和灰度指数。生物样品在高加速电压下，易产生充放电现象或辐射损
伤，所以不应较长时间观察或拍照。但加速电压较高时，电子束能量大，激发的二次电子数
量多，有利于提高图像的分辨率，降低信噪比和增大反差，有利于高倍率观察。所以要综合
考虑，选择适当的加速电压。
要保证图像清晰、信息饱满，聚焦操作亦是关键。事先要熟悉样品的方位、结构
特征和需放大倍数，使观察部位一开始就进入视野，节省寻找时间。然后调到比照相所需
数高一二个档级的倍数，仔细聚焦和调节消像散。聚焦清晰后，立即退回所需照相倍数拍
照，以缩短聚焦时间。对于表面粗糙，凹凸差异很大的样品，要求有较大的焦深才能使粗
糙程度呈现出来，要选用小的物镜光阑和大的工作距离。低倍观察时，视野扩大，要选用
较小的聚光镜电流，大的物镜光阑和工作距离。高倍观察，主要考虑分辨率，则要求束斑
直径小，聚光镜电流大，这时辐照区域很小，二次电子信号很弱，因此要采取较长的曝光
时间拍照。
