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光学测量投影仪轮廓测量精度决定于物镜放大率精度




来源:yiyi
时间:2015-8-9 20:31:33

光学测量投影仪轮廓测量精度决定于物镜放大率精度


  精度分析
  1、物镜放大率精度
  投影仪作轮廓测量时的精度决定于物镜放大率精度,影响此精
度的因素较多,主要有:

  (1)物镜的畸变误差
  这是影响物镜放大率精度的主要误差,它包括物镜设计时残留
的畸变,加工装胶时产生的工艺畸变,以及反射镜、分光板几何
误差产生的非对称放大率误差等,设计时畸变一般可控制在0.02
%以内,设计时畸变一般可控制达到要求4 容限,只是物镜的工
艺畸变较复杂,整组物镜各折射面的共轴难以达到很高的水平,
此外,整组物镜的定位误差也会造成非对称影响,显然,物镜的
畸变误差是一项综合性的非对称,非线性误差,是设计、加工、
装校水平的综合反映。

  投影仪的主要部件

  投影物镜
  1、像质物镜
  为保持整个投影屏上像质一次调焦时的清晰准确,投影物镜必
须严格地校正各种像差。
  具体设计时,常用的是几何像差,根据使用要求和经验,规定
了各种像差容限。
  (1)像散、场曲
  投影仪要求全屏一次调焦时像质基本一致,这就要求场曲必须
控制在一个焦深以内,像散也应如此,较好半个焦深左右,全屏
像质有一致性,反映出整个视场内像质已匹配好或者各种像差本
身都很小。
  (2)球差、位置色差
  这两项像差容易控制,但二级光谱难以控制,一般采用降低性
能参数的办法。

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