光电子能谱化学分析技术原理是依据光电效应现象
微探针分析技术
表面成分和原子状态分析的样品里，被分析的体积是一个立方微米
。数量级时，称为显微分析。微区分析通常采用一定能量的一次束，如
电子，离子，光子和中性粒子(原子或分子)，作为微探针去激发固体样
品，结果产生反映样品表面特性的二次束，对二次束进行能谱或质谱分
析，即获得有关表面的元素组成、原子体状态等信息。
从特征X射线分析物质中元素，有两种方法——波谱分析法和能谱
分析法。波谱分析法是利用晶体对某特征X射线发生卫射的条件来鉴定
特征X射线的波长。能谱分析法是测量X射线光量子的能量来确定在激发
体积中物质包含什么元素。
光电子能谱化学分析技术
在表面分析工作中，有时需要状态分析，即分析原子间化学的结合
状态、电子束缚能，电荷分布和电子状态等。这些信息对研究表面化学
反应、表面吸附和催化，以及表面的氧化和腐蚀等都是十分重要的。光
和物质相互作用所产生的光电效应，光电子动能和各级电子的结合能有
关，所以应用光电子能谱法进行表面化学状态分析较为有效。
光电子能谱化学分析技术(ESCA)的原理是依据光电效应现象。当用
单色光照射晶体固体表面时，会把固体表面中电子打出，这种现象称为
光电效应，所打出的电子称为光电子
