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电子显微镜的物镜、中间镜及投影镜-分辨率与波长




来源:yiyi
时间:2016-11-7 0:34:58

电子显微镜的物镜、中间镜及投影镜-分辨率与波长

物镜、中间镜及投影镜统称为成像系统。最近的电子显微镜也有四
级、五级透镜的,但是基本形式是这种三级透镜,其他的透镜是以
像差,放大倍数等辅助措施为目的的。

     试样室
    试样室安装有气锁机构,以便将试样放入真空中。最近的装置
中,为了更快地进行试样的更换,也有能放置6~8个试样的试样室
,可以自由地选择试样进行观察。试样室中重要的是试样的微调装
置。电子显微镜的分辨率为l埃,拍摄这样高分辨率的照片时的曝
光时间需要10秒以上。也就是说,必须有一个先决条件,开动试样
微调装置时,平稳起动后停止,在10秒钟内连l埃的移动都不允许
。这与透镜的像散一样.是一种十分重要的机构。拆开试样室清洗
时也应该注意到这一点。

    上述的是过去类型的试样室。称为顶装式的试样室。最近使用
的从物镜磁极的横方向将试样插入的侧装式。这种型式的试样宣对
于X射线分析是必需的。也就是说,为了进行几百埃的微区X射线分
析,必须把电子束缩小到与它相同的尺寸。这种方法,仅加强上述
的第一会聚镜的激磁是不够的,而是要加强物镜激磁+并将其前磁
场作为第三会聚镜使用。因此试样的位置必然靠近物镜中心的部份
,而侧装的试样室,便能把试样置于满足这种条件的位置上。
    分辨率
    光学显微镜的透镜中有各种像散,它是用几组玻璃透镜组合的
方法来修正这种像散的。然而。最后决定分辨率的是受光的波长所
限制的衍射像散。把光学显微镜下可分辨的两点间的最小距离定义
为分辨率

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