仪器常识侧力显微镜(LFM)应用于测量悬臂的侧面偏转
侧力显微镜
侧力显微镜(LFM)用于测量悬臂的侧面偏转(扭曲)，这个
偏转产生于平行样品表面的悬臂上的力。侧力显微镜用于研究由非
均匀性材料表面产生的摩擦力图像的变化，也可获得任意表面轮廓
增强的图像。
悬臂的侧面偏转通常有两个来源，表面摩擦力的变化(顶
端)和斜率的变化(末端)。第一种情况，探针经过某些区域时，有
很大的摩擦力，能引起悬臂很大程度的扭曲。在第二种情况，当悬
臂遇到很陡的斜度时会扭曲。为了区分出不同的效果，侧力显微镜
与原子力显微镜将同时采集图像。侧力显微镜与原子力显微镜一样
，用位置灵敏光电探测器检测悬臂偏转。侧力显微镜的不同是，位
置灵敏光电探测器也能感测悬臂的扭曲或侧面偏转。
在磨削过程中，存在同样的问题，即温度值以及与时间和空间相关的大的温
度梯度，并被大量的几何未定义的切削刃和普遍必需的冷却液进一步强化。
在这些研究中，用闭合线路的铜热导线和蒸发到工件的薄膜热电偶测试温
度。结果显示这两种类型传感器系统的差异，薄膜热电偶所确定的温度与闭合线
路相比平均值低30％，这可以通过不完全的绝缘和蒸发传感器很大的铜焊点来
解释。除了这些不同外，一个主要的发现是，在同样磨削条件下，与传统的
氧化铝磨料相比较，玻璃粘结CBN砂轮有更优良的性能。
结果显示在切削或磨削中对温度测量只有通过较高的技术努力才能实现。工
件或刀具的修正与经济和时间投资约束了这些测量，对基本的研究和工业应用都
不可能．
