镀覆有覆层测厚仪的分度和检验-样品检测显微镜
测厚仪的分度和检验
分度和检验方法
每种覆层厚度测量仪器都有一定的准确度要求，根据仪器量
程或分档量程对其进行分度，各档分度测试点的多少，应根据情
况适当选择，对于每一分度点的测试，应重复测量一定的次数，
以保证仪器给定的准确度．
仪器使用一段时间后，为了保证其质量，还必须对它进行检
验，检查是否符合质量指标。检验和分度的任务不一样，但它们
都应符合仪器的技术要求．
量程分度可以按分度点分成几段，分度点的数量可以是任意
的，各点之间的距离也可以是等距的，但任意取点或等距取点会
导致误差的显著增大，因此还应考虑基本误差和数据离散的随机
误差，以便确定分度点的数量。
在分度测量完毕后，还必须计算偏差系数，若小于期望的偏
差系数，则表明测量次数已经满足，否则应增加测量次数。如果
偏差系数不随测量次数的增加而减小，则说明在选定的方法、测
头结构、频率、电路以及仪器的稳定性等情况下，不可能达到仪
器给定的准确度要求。
仪器的偏差系数可能随厚度范围而变化．在这种情况下，必
须对每一分度点都应进行计算。在系统误差为变值的情况下，也
不适宜于采用上述方法。
分度和检验所用装置为标准块和校验装置。
标准块
通常在试样上镀覆有覆层，用更精确的仪器测定出其厚度，
这种标准试样称为标准块。如在电磁法等无损检测方法中，可臁
更精确的仪器测出厚度的塑料或金属片，再在用仪器校准时将该
片贴置裸基体上，代替镀覆或涂覆的标准块，这种校准用的靼料
或金属片称作标准片。标准片要求不易受温度、湿度、压力的影．
响，而且厚度均匀。由于标准片容易和不同基体组合，而且使用也．
非常灵活，所以应用较为普遍．
标准块是已知覆层厚度用来校准待测覆层厚度的标准量具．由于标
准块的工作条件和要求不同，通常它分为工作标准块和校验标准块。前
者是随仪器用作日常测厚调整之用，而后者是用来对仪器进行分度和检
验，因而要。求具有更高准确度。
