光切显微镜测量或光学截面表面粗糙度测量仪
对于不透明覆层厚度则应采吊有损测量。在这两种测量
方法中，由于仪器的原因或使用不当，都可能影响测量结果的准
确度．对于有损测量，若试样制备的质量不佳，则乏对测量结果
产生影响。下面就有关影响因素加以叙述。
(1)表面粗糙度光学法测量覆层厚度一般都非常薄，因
而要求基体表面的加工粗糙度很低，一定要非常平滑。如果覆层和
基体表面粗糙，或者覆层和基体表面相对于覆层厚度是粗糙的，
9lb在观察视场内，将由于覆层和基体的界面不规则，而不可能进
行准确的测量。
(2)断面不正 当抛磨试样断面或加工台阶断面不垂直，
在测量厚度时，可能会产生误差。在断面显微镜测量中，一般每
倾斜10°由此导致的误差达1．5％。
(3)覆层变形 在断面显微镜和扫描电子显微镜测量中，
如对试样的镶嵌温度过高或压力过大，都有可能造成试样的覆层
变形；对软覆层或低温易熔化覆层进行断面抛磨，以及对脆性材
料过分砂磨，都可能造成覆罢变形，将会带来测量误差。
(4)覆层边缘磨圆 覆层断面边缘如被磨圆，则不成平
面，这样在显微镜观察就很难测出真实厚度。在试样镶嵌、研
磨、抛光、浸蚀等操作中，如操作不适当都有可能导致边缘被磨
圆．通常，在抛磨试样上加一层保护层，则可以防止边缘磨圆．
(5)浸蚀：当浸蚀试样条件较佳，将会在两种金属界面形
成清晰的狭窄边界线。如果条件不佳，则边界线宽，也不清晰，
因而不可能准确地测量。
(6)表面沾污 当抛光试样断面留有沾污的金属，特别是
在铅、铟、金等软金属界面情况下容易发生，以致界面不易准确
地测量。对此，一般采取多次抛光和多次测量的方法。
(7)对比度差当两种金属原子序数十分相近，如光亮镍
和半光亮镍，在扫描电子显微镜测量时，它们可见对比度差，除
非浸蚀边界很清晰，以及采用适当的测试方法，否则是难以识
别的．
