轮廓仪覆层厚度测量-轮廓仪又称表面粗糙度仪
轮廓仪覆层厚度测量
轮廓仪又称表面粗糙度仪，常用于测量加工表面的粗糙度或
不平度。对于表面有覆层的制品，如果从被测表面到和基体的界
面制备一个小沟槽或台阶，则可以测量覆层厚度。通常轮廓仪测
量厚度的范围为0．01一1000μm，当厚度小于0．01μm时，则对工
件表面平直度和平滑度要求很高，厚度的测量较为困难。轮廓仪
祛虽然属于破坏测量，但由于测量直观，测量厚度的下限很薄，
捌量误差较小，因而它也被用来作为仲裁测量和供其他仪器校准
之用。
基本原理
轮廓仪通常是电子触针式仪器，根据其所用传感器不同，一
搬可分为电感式、压电式、感应式、光电式等．电感式由于具有
：准确度高、信噪比高等特点，因而它的应用较为普遍。
轮廓仪是用触针在被测表面移动，在移动过程中，触针随表
面不平度而上下移动，从而感应产生一比例子上下移动距离的信
号，将此信号放大，则可以记录出每点高度i。由于触针随着驱动
箱电动机的带动而在一定长度下移动，因而它可记录出移动范围
：内的表面轮廓。当测量覆层时，由于试样制备了沟槽，因而它可
以测量出各点的覆层厚度．
利用轮廓仪测量覆层厚度时，对于触针尖端半径的要求不象
测量粗糙度的要求高，可以选用5微米或更大一些的触针．金刚石
触针可以承受一定的冲击力而不会损坏，因而使用寿命较长。
利用轮廓仪测量覆层厚度时，需要将被测件表面先制备一个
小台阶，当测针从台阶底，即从基体表面的位置开始移动，待测
针，移到台阶边缘就会跳至覆层表面，因而仪器将记录出基体表面
和覆层表面的高度差，也就是记录出覆层厚度。
轮廓仪测量覆层的基体表面必须非常光滑平整，否则难以保
证测量的准确度。
