显微镜金相显微镜 上海光学仪器厂- 研发专家

SiteMap:XML Html urllist 招聘 客服 地图 咨询热线:021-55228110
显微镜|金相显微镜|测量投影仪等光学仪器专业提供商-上海光学仪器厂
网站首页
企业介绍
新闻中心
企业产品
客户留言
相关下载
联系我们
付款方式

光学轮廓仪测量是在被测表面一个点上感知焦点




来源:yiyi
时间:2016-7-3 16:37:01

光学轮廓仪测量方式是在被测表面一个点上感知焦点

光学轮廓仪

    在构建目标物体的表面貌形时,常用的是不与测试表面接触的
光学探针,而不是机械式探针。光学探针通过检测被测物体上的较
佳聚焦位置来确定其形状。光学轮廓仪实现测量的方式是:在被测
表面的一个点上感知焦点,通过调整聚焦透镜的高度直到焦点被找
到为止。信号是在扫描焦点的过程中收集和处理的。镜头移动的数
值可以反映测试点的表面高度。无论是通过光学探头的扫描或是移
动被测表面,都能产生二维或三维的高度轮廓图。在感知焦点信号
时,需要有特殊的硬件设备。利用不同的方法,如传统的显微镜或
立体显微镜来产生表面轮廓图的方法,都是基于通过集中扫描目标
物,以获得每个点的较佳焦点,然后对采集来的图像进行处理的过
程。
    光学轮廓仪感知的信号通常被误称为辐强度。光学聚焦传感器
    当激光光源发出的一束光被聚焦到被测表面时,反射光在光轴
上被棱镜分成两束。然后,用两个探测器分别检测这两束光的信号
,并对其差值信号进行监控。当聚焦透镜太高时,反射光束会聚焦
在探测器的前方,导致内侧探测器的信号变大;而聚焦镜头太低时
,外侧探测器的信号会变大。信号差值情况可以决定测试表面在哪
一面被聚焦,以及利用产生的误差信号调整聚焦透镜直至正确位置
。当内侧探测器和外侧探测器的信号相等时,差值信号为零,聚焦
镜头就处在正确的位置上。
    被测表面焦斑的大小限制了光学聚焦传感器的横向分辨力,焦
斑的直径通常在1.0~1.5μm。在对被测表面上一个确定采样点
的高度进行测试时,实际得到的高度是光斑大小范围内的平均高度

    这意味着较小测试范围是2μm。测量面积取决于采样间隔和采
样点的数量。这类型轮廓仪的另一个限制是从被测表面反射回的光
束必须能够到达传感器。
    如果被测表面有陡坡,光线将会被散射出轮廓仪,导致信号缺
失,当只检测差值信号时将输出错误结果。这类轮廓仪的高度分辨
力与聚焦范围和获得采样点的时间有关。当测量的高度范围很大时
,为了保持采样每个数据所花的时间相等,聚焦镜头的移动会比较
粗略。因为采用精确聚焦的方式会大大地增加测量时间。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)

  
合作站点:http://www.xianweijing.org/    
万能工具显微镜 丨 表面粗糙度仪 丨体视显微镜 丨金相显微镜 丨
上海光学仪器厂_http://www.sgaaa.com @2021  上海永亨光学仪器 SiteMap
工信部备案号:京ICP备11022359号-4-丨- 北京市东城分局备案编号:11010102000203


推荐使用800*600以上分辨率浏览光学仪器产品以及参数
上海永亨光学仪器制造有限公司
上海光学仪器一厂_上海光学仪器厂
版权所有 未经允许禁止任何人复制,转载本站显微镜以及光学显微镜产品以及参数信息