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准直光管式孔径比较仪测孔测量误差原因




来源:yiyi
时间:2016-7-9 12:53:38

准直光管式孔径比较仪测孔测量误差原因

用接触式干涉仪测轴时,测量误差的组成与用立式光学计测轴相似
,即包括:①光管带来的误差;②标准量块的误差;③工作台台面
对测帽平面不平行的误差;④温度的影响;⑤测量力的影响;⑥工
件重量与标准量块重量差引起工作台变形带来的误差等。其中,②
③④⑤项的考虑方法与用立式光学计测轴时相同。第⑥项考虑到干
涉测轴精度较高,为了不致因工件重量带来的测量误差影响测量精
度,必须控制被测工件的尺寸。对于干涉测量,建议被测工件直径
小于40mm,根据检定规程推算,这时带来的工作台变形,对钢制工
件而言约为0.2微米。当然如果采用标准轴比较,此项误差可忽略
用准直光管式孔径比较仪测孔,其误差由以下几部分组成:
  (1)读数系统的误差。它包括测头部分带来的误差和准直光管
带来的误差。而测头误差又包括测头本身的检定误差,将线值转换
成角值带来的误差及其稳定性误差。
  (2)标准量块的误差。
  (3)标准量块组成的标准框和孔的定位误差。对标准框来说,
其标准尺寸应该是在水平面和垂直面内的较小尺寸。而对被测孔,
要测的尺寸应该是在水平面内的较大尺寸和垂直面内的较小尺寸。
无论是标准框或被测孔,这个尺寸都不可能定位很准确。对于可以
找转折点的仪器而言,其定位精度决定于读数的灵敏程度。对本仪
器来说,由于它在孔的垂直截面内不能找转折点,因此在这个方向
上的定位误差就决定于孔的端面对孔轴线的垂直度误差。

    (4)温度的影响。其作用因素与测轴的情况相同。
    (5)测力带来的误差。在孔测量中,所使用的测帽都是球
测帽,故由测力引起的变形,对标准框和孔相差不多,而且本
仪器的测力小(不大于0.28N),此项影响可忽略。
    用此仪器测孔,其总误差随着所用标准量块的等级及工
件定位误差的不同而不同。根据有关资料,在不考虑上述两
个因素的情况下,其测量精度可达±0.25微米。

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