接触式孔径测量仪的优点-光学测量仪器原理
误差分析
接触式孔径干涉仪较前面介绍的仪器有两个优点：一是量块不用
组合戏标准内尺寸框，而是将孔径直接与两个外尺寸比较，这样就
减少了组合成内尺寸时的误差因素。二是由于不使用标准尺寸框比
较，因而也就避免了测量时找标准框的较小尺寸及由此而产生的测
量误差。同时仪器在设计时，已从结构上就保证了标准量块的中心
长度尺寸与测量方向平行。从而提高了测量精度。
用接触式干涉仪测量孔径，由于没有阿贝误差，故可忽略导轨
运动精度的影响。其主要误差包括：①读数系统的误差；②测球检
定误差；③测球定位误差；④温度的影响；⑤测力带来的误差等。
读数系统的误差包括定度误差和测量时的估读误差。前面已经
提到，仪器是利用鼓轮推动光楔改变光程长度来读数的，而读数鼓
轮是由波长来定度的。其具体方法是在光路中插人一块波长值已精
确检定过的滤光片，产生单色光干涉。
非接触式孔径干涉仪的测量部件由接触式干涉比较仪的干涉计
管改装而成。将干涉计管的参考镜换成本装置中的带棱镜的测量头
，将干涉计管中带测头的测量反射镜改装成可变更其到分光镜距离
的参考反射镜即可。本装置测量时，测量头不动，而是由工作台带
动工件运动，以便工件进入测量位置。光源用汞灯源，以便形成单
色光干涉。用它来对干涉仪进行定度，同时由于单色光干涉时的光
程差变化范围大，易于看见干涉条纹，调整方便。
