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微电子器件纳米线封装中电子显微镜的应用




来源:yiyi
时间:2016-8-27 1:47:19

微电子器件纳米线封装中电子显微镜的应用

    随着传统微电子器件尺寸不断缩小,进一步减小导线尺寸的需
求变得愈发明显。然而,对金属导体性质的研究表明,CNT的特定
结构和电流承载能力,将实际导线的较小直径尺寸限制在3nm左右
,而人们正在研究直径在3nm以下的纳米电气连接,它是由单金属
原子排列而成的,即量子线。量子线可通过机械打断的方法、结合
机械打断与刻蚀和沉积技术的方法,或其他技术来实现。尽管我们
对量子线性质的认识还仅停留在理论层面上,有一点却是毫无疑问
的,即量子线是即将到来的分子电子学中封装问题值得考虑的解决
方案。
    直径从10nm至亚微米之间的金属导线和金属棒,人们已经认识
到了它们在微电子封装中的应用潜力。所以,金属线和金属棒的产
生、表征、处理等技术及它们与磁场的相互作用,将在纳米时代的
封装应用中起重要作用。由于可用信息十分丰富,许多研究还正在
进行当中。这些研究旨在通过不同材料来生成新型线状纳米几何构
型,并对其特性进行刻画。
    纳米线在封装中的具体应用主要是互连生成、传感器、光电子
学等领域。根据对导线的一般理解,很容易把纳米线想象成圆柱状
的导线束:直径小于100nm,理想上无限长,至少是很长的。那是
由于普通导线是通过对金属棒进行拔丝操作而获得的,但纳米线不
能通过拔丝的方法制造,也不一定由单一金属或材料组成。当然,
通过扫描隧道显微镜的悬臂针尖启动链式聚合反应,能够以拔丝形
式生成电子线路中的导电聚合物纳米线。
  尽管,有的参考文献会经常把棒状胶质结构称作纳米线,但其实
它们更应该被称为纳米棒或是针状纳米晶体。如果它们由金属组成
,正规的文献都会把这类结构称作纳米线。然而,我们将注意力都
集中在金属线和金属线状结构上,无论它们是作为支柱固定在固体
基板上,还是呈刷状,抑或是呈菌苔状结构,我们都把它们称作纳
米线。超分子线状几何构型,比如原肌球蛋白纤维,

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