氧化形貌样品检测可用低倍显微镜观察记录氧化膜表面

样品的检测方法

　　根据需求，氧化形貌可用多种方法进行观察，多数情况下推荐下面
的流程，首先，用肉眼和低倍显微镜观察样品，记录氧化膜表面是
否平整、起皱、生成瘤状物或开裂，在中心或边缘位置是否有加速腐蚀
现象。

这个步骤相当重要，因为随后的观察一般仅限于局部区域特定位
置的显微观察，所以需要知道其是否有代表性，样品表面不同区域是否
有差异。再就是样品制备截面前需要用扫描电镜对其表面进行观察，如
果发现某一区域有重要的特征，必须立刻拍照，否则会错失良机。另外

   现代扫描电镜还可确定所观察到的指定形貌特征选区的化学成分，将
在下面进行介绍。
　　

　　观察氧化膜表面形貌后，一般还要对其进行x射线衍射分析，以确
定其相组成，同时还可获得膜中的应力状态、织构等附加信息。

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