零件尺寸三维形状测量光学技术-轮廓测量仪器
尺寸形状检测
零件尺寸形状精度是衡量机床加工质量的另一主要指标。与表
面粗糙度的检测一样，尺寸形状的测量方式也主要分为接触式和非
接触式，前者又分为电气式和机械式，后者又分为激光式和超声波
式。接触式测量主要用于加工零件的离线测量，而非接触式测量可
适应于加工工件的在线测量。
在零件尺寸形状测量中，尺寸的测量主要包括车削和磨削回转
体直径以及镗削和钻削孔径的测量，其测量方法主要有直径法、半
径法和多点法等。
在零件尺寸形状测量中使用较多的还是光学式非接触测量法。
除了利用光学变位(激光位移计、光切断等)和光学现象(反射光强
度、折射等)两种与表面粗糙度测量相似的方法外，零件尺寸形状
的光学式测量中常用的方法还有光焦点法和光跟踪法等。
光学式非接触传感器除了在零件尺寸的在线测量上显现出其优
越性外，在零件三维形状的在线测量上更具有其他传感器所不及的
特长。
在三维形状测量中除了利用激光法外，通常还采用晶格点阵投
影法。当基准晶格点阵投影到三维物体上并从其他方向观察时，可
发现原先的基准晶格点阵随物体表面的三维形状而发生变形，根据
晶格点阵变位量的检测来计算物体的三维形状的方法，称为晶格点
阵投影法。
零件尺寸形状的非接触测量除了上述的光学式测量法外，另一
有效的方法为超声波法
