样本比较分析-装配级失效的检测显微镜
EOS失效分析——傅里叶变换红外光谱仪
傅里叶变换红外(FTIR)光谱是一种有损失效分析技术，可用于
评估有机污染。有机污染导致的EOS可以引起高电阻短路。在傅里
叶变换光谱中，采用测量技术收集发射光谱。发射光谱的收集是基
于对相干辐射源的测量。辐射源发射的收集就是采用电磁辐射或其
他类型辐射的时域或空间域测量。在这种技术中，傅里叶变换就是
将原始数据转换成发射光谱。
FTIR光谱法用于在装配级失效的检测。较好对失效位置和未失
效位置或者失效样品和未失效样品行进对比分析。通过这种方式，
不应该存在的有机物质可以与原本就有的有机物质分离。这种方法
对辨别究竟是EOS、EOV、EOC或EOP在失效中的起作用是很有价值的
。
EOS失效分析——离子色谱法
离子交换色谱法是用来评估装配级和电路板级失效是否与污染
物或基于离子间的失效有关，也被称为离子色谱法(IC)[6I。离子
交换色谱是一个根据离子和极性分子的电荷来让它们分离的过程。
该方法用于确定该失效是否是高电阻短路机制导致的表面传导相关
的失效。离子污染会导致出现电气失效特征，这通常被认为与EOS
有关；这是一个排除EOS事件电阻短路的好方法。这种方法通常不
会用来进行器件或ESD分析。
评估电气失效，重要的是要有一个可控样本进行比较分析。这
样，“好”样品的离子水平可以与“失效”样品进行比较。可以在
可能出现电气特征的局部区域或整个表面(比如，整体污染)对印制
电路板的失效特征进行评估。如果发现“坏”标本是全局污染并且
检测到电阻，就可以排除这不会是EOS事件。如果失效是局部的并
且评估显示有丝状物形成、尖峰、电介质破裂和离子污染，那么有
可能是过电流、过电压或过电应力造成的。
